DeviceNet現場總線在MOCVD設備上的應用 

肖慧, 林博奇 
(中國電子科技集團公司第48研究所，湖南 長沙 410111) 
 

摘 要： 以MOCVD 設備為例，介紹一種基于DeviceNet 現場總線標準，采用遠程DeviceNet 掃描儀SST-END-1-C2 與流量控制器、壓力控制器構成現場總線控制網絡。給出了DeviceNet 軟件設計與控制實現。使用效果表明DeviceNet 是基于CAN 總線技術的一種低成本的通信鏈接，是一種低端網絡系統，具有低成本、高效率、高可靠性的特點。
關鍵詞： DeviceNet 現場總線；CAN 總線；MOCVD 設備中圖分類號：TP336 文獻標識碼：A 文章編號：1007-3175(2014)07-0032-04

Application of DeviceNet Field Bus in MOCVD Equipment 

XIAO Hui, LIN Bo-qi 
（The Forty-Eighth Research Institution of China Electronic Science and Technology Group Company, Changsha 410111 , China） 
 

Abstract: Taking MOCVD equipment for example, this paper introduced a kind of standard based on DeviceNet field bus. The field bus control network consisted of the remote DeviceNet scanner, SST-END-1-C2, flow controllers and pressure controllers. This paper gave the software design of DeviceNet and control implementation. The use effectiveness of DeviceNet shows that DeviceNet is a kind of low cost communication link based on CAN bus technology, a kind of low network system with low cost, high efficiency and high reliability characteristics.
       Key words: DeviceNet field bus; CAN bus; MOCVD equipment

參考文獻
[1] 夏繼強，邢春香.現場總線工業控制網絡技術[M].北京：北京航空航天大學出版社，2005.
[2] 張戟，陳昱，謝劍英.基于現場總線DeviceNet的智能設備開發指南[M].西安：西安電子科技大學出版社，2004.